製品情報

ケミカル製品(金属・めっきタイプ)

ベースメタル

ミクロファブCu

ウェハー上のパターン形成、バンプ形成に適した硫酸銅めっき液。
均一電着性に優れ、良好な膜厚分布が得られます。

Cu300(微細パターン厚付けタイプ)

高速めっき。コネクタ、プリント配線基板などの電子部品、また装飾プロセスにも対応します。

金属Cu(g/L)

25(20〜30)

析出速度(min/μm)

1.5(3A/dm2にて)

温度(℃)

25(20〜30)

Cu520(ビアフィリング)

高いアスペクト比で良好な埋め込み性を発揮します。

金属Cu(g/L)

50(40〜60)

析出速度(min/μm)

4.5(1A/dm2にて)

温度(℃)

25(25〜30)

ミクロファブNi

ウェハー上の微細パターン、バンプ形成などの下地めっきに適しています。

Ni200(バンプ形成下地めっき)

半光沢外観でボイドの少ない析出物です。

金属Ni(g/L)

75(70〜80)

析出速度(min/μm)

1.6(3A/dm2にて)

温度(℃)

55(50〜60)

pH

4.0(3.5〜4.5)

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