めっき装置
大口径化、微細化へと進む技術革新にも
ケミカルプロセスと装置のトータル設計で更に高性能なシステムを提案いたします。
配線プロセス / 銅めっき・金めっき<
使い勝手のよい配線プロセス装置
自動運転、手動操作、プログラム登録などを任意に設定できる高操作性。
配線パターンのデータをロットごとに入力登録でき、システム稼動時にはそれに基づいたプロセスコントロールが可能。
カップデザインはミストプロテクト効果の高いクローズドカップ構造。
生産性を高めるスピリンサードライヤーを装備。
めっき処理のカップ数を2カップ単位で増設可能。
再配線にも適した実験/開発・少量生産向マニュアルタイプ
高パフォーマンスを発揮するフェイスアップめっき方式。
フルオートタイプへのプロセスレシピが移植可能。
対応可能安全規格：SEMI-S2、SEMI-S8、CEマーキング対応
