めっき装置
大口径化、微細化へと進む技術革新にも
ケミカルプロセスと装置のトータル設計で更に高性能なシステムを提案いたします。
マルチプロセス（W-CSP） / 銅/ニッケル/はんだめっき・銅/ニッケル・金めっき
ウェハーレベルCSP対応フルオートタイプ
1チャンバー内で連続した多種類のめっきを行う全自動タイプ。
4カップ×2を１ユニットとして生産計画に合わせた増設が可能。
カップデザインは裏面汚染を避け、めっき液蒸発を防止するクローズドカップ構造。
カソードクリーナーや金属パーツコーティングなど細部にわたり安定性を追及。
300mm対応マルチプロセス機
マルチプロセスにあわせた設計が可能。
高い稼働率と生産性。
完全クローズドで高特性をもたらすカップデザイン。
プロセス管理機構をオプション装備
- インラインアナライズ
- ドージングシステムによる自動補給
- BCDSシステムの採用
対応可能安全規格：SEMI、CEマーキング
