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大口径化、微細化へと進む技術革新にも ケミカルプロセスと装置のトータル設計で更に高性能なシステムを提案いたします。
UBMプロセス
ウエハーのアルミ電極に無電解ニッケル/置換金めっき膜を形成するPKGプロセス装置
無電解ニッケル/パラジウム/置換金プロセスへの対応も可能。
薬液自動供給・排出システムを装備。
自動キャリア搬送機構を搭載したオートマチックタイプ
開発/試作に適したセミオートマチックタイプ
